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乙硅烷

發布時間:2019-06-13來源:洛陽華普高純氣體點擊:3058

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  • 乙硅烷

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       乙硅烷是一種無機化合物,其化學式為Si2H6,在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學性質,但其反應性比硅烷更強。它比硅烷更不穩定,在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300~500℃分解成為SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。主要用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。

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